研究了一種高頻高壓脈沖電源，利用交直流疊加技術，産生高頻請影高壓快速上升沿的交流脈沖，滿足産生低(dī)溫等離子(zǐ什小)體的需求。電源主要由交流電源、直流電源和交直流耦合電路（包靜木括反應器(qì)）組成。實驗結果表明，交直流技中疊加電源能夠産生良好(hǎo)的低(dī)溫等離子(zǐ)體廠家。
發布日期：2020-04-15浏覽次數： 次信息來源： 電力電子(zǐ)技術
研究了一種高頻高壓脈沖電源，利用交直流疊加技術，産生高頻請影高壓快速上升沿的交流脈沖，滿足産生低(dī)溫等離子(zǐ什小)體的需求。電源主要由交流電源、直流電源和交直流耦合電路（包靜木括反應器(qì)）組成。實驗結果表明，交直流技中疊加電源能夠産生良好(hǎo)的低(dī)溫等離子(zǐ)體廠家。