研究了一種高頻高壓脈沖電源,利用交直流疊加技術,産生高頻國秒高壓快速上升沿的交流脈沖,滿足産生低(dī)溫等離子(z高弟ǐ)體的需求。電源主要由交流電源、直流電源和交直流耦合電自生路(包括反應器(qì))組成。實驗結果表明,交直流疊加電對放源能夠産生良好(hǎo)的低(dī)溫等離子(zǐ)體。
發布日期:2020-04-15浏覽次數: 次信息來源: 電力電子(zǐ)技術
研究了一種高頻高壓脈沖電源,利用交直流疊加技術,産生高頻國秒高壓快速上升沿的交流脈沖,滿足産生低(dī)溫等離子(z高弟ǐ)體的需求。電源主要由交流電源、直流電源和交直流耦合電自生路(包括反應器(qì))組成。實驗結果表明,交直流疊加電對放源能夠産生良好(hǎo)的低(dī)溫等離子(zǐ)體。